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美國(guó)MKS成立于1961，MKS是全球最著名的先進(jìn)生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供應(yīng)商之一，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、平板顯示器、太陽(yáng)能電池、LED、光學(xué)儲(chǔ)存介質(zhì)、玻璃鍍膜、光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備。MKS前瞻性的創(chuàng)新開(kāi)發(fā)，推動(dòng)其產(chǎn)品一直處于全球技術(shù)領(lǐng)先地位。MKS的電源、測(cè)量、控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)，改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率，提高了產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。深圳市華聯(lián)歐國(guó)際貿(mào)易有限公司現(xiàn)貨供應(yīng)MKS，MKS流量計(jì)，美國(guó)MKS流量計(jì)等全系列產(chǎn)品，低價(jià)采購(gòu)，保質(zhì)保量，價(jià)格優(yōu)惠!MKS產(chǎn)品一站式采購(gòu)，型號(hào)齊全，一件起訂，歡迎選購(gòu)!
1、美國(guó)MKS流量計(jì)P系列產(chǎn)品介紹
美國(guó)MKS流量計(jì)P系列高性能多氣體、多量程熱式質(zhì)量流量計(jì)專為要求準(zhǔn)確性、可重復(fù)性的最關(guān)鍵過(guò)程應(yīng)用而設(shè)計(jì)。P4B是一款1.125英寸機(jī)身、多氣體/多范圍、金屬密封質(zhì)量流量計(jì)(MFM)。P4B流量計(jì)采用了最新的數(shù)字流量計(jì)電子設(shè)備以及久經(jīng)考驗(yàn)的專利熱傳感器和機(jī)械設(shè)計(jì)。數(shù)字電子器件采用最新的MKS算法，提供多氣體/多范圍測(cè)量功能。其中包括數(shù)字校準(zhǔn)，可產(chǎn)生1%的校準(zhǔn)氣體讀數(shù)精度。嚴(yán)格控制工藝氣體的流量精度，以改善腔室工藝匹配，嵌入式配置和診斷軟件允許用戶檢查MFM功能，而無(wú)需從工具中移除設(shè)備。
2、美國(guó)MKS流量計(jì)P系列產(chǎn)品規(guī)格
①滿量程流量范圍5-50000標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
②測(cè)量范圍滿量程的0.1-100%（機(jī)械范圍）
③最大入口壓力500磅/平方英寸
④2-20%滿量程時(shí)為滿量程的±0.2%
⑤零溫度系數(shù)<滿量程的0.05%
⑥跨度溫度系數(shù)<讀數(shù)的0.08%
⑦入口壓力系數(shù)<讀數(shù)的0.02%
⑧熱身時(shí)間<30分鐘（穩(wěn)態(tài)性能滿量程的0.2%以內(nèi)）
⑨美國(guó)MKS流量計(jì)P系列工作溫度10-50℃
⑩儲(chǔ)存濕度0-95%相對(duì)濕度，無(wú)冷凝
?儲(chǔ)存溫度-20°至80°C（-4°至149°F）
?美國(guó)MKS流量計(jì)P系列重量<2.5磅（1.1千克）
3、美國(guó)MKS流量計(jì)P系列產(chǎn)品特征
①所需輸入功率：根據(jù)DeviceNet規(guī)范+11至+25 VDC
②小字符噴碼機(jī)：5針微小字符噴碼機(jī)(DeviceNet)
③數(shù)據(jù)速率開(kāi)關(guān)/選擇：4個(gè)位置：125、250、500K（默認(rèn)）、PGM（可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)編程）
④數(shù)據(jù)速率/網(wǎng)絡(luò)長(zhǎng)度：數(shù)據(jù)速率（用戶可選）125 Kbps，500米（1,640英尺）
⑤MAC ID開(kāi)關(guān)/地址：2個(gè)開(kāi)關(guān)，10個(gè)位置；0,0到6,3是硬件ID號(hào)7,0到9,9是軟件ID號(hào)
⑥美國(guó)MKS流量計(jì)P系列網(wǎng)絡(luò)規(guī)模：最多64個(gè)節(jié)點(diǎn)
⑦網(wǎng)絡(luò)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)：同一網(wǎng)絡(luò)電纜上的線性（干線/支線）電源和信號(hào)
4、美國(guó)MKS流量計(jì)P系列產(chǎn)品特性
①嚴(yán)格控制的工藝氣體流量精度可改善處理室工藝匹配
②寬動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)的精確流量測(cè)量（即使在量程較低時(shí)）減少了對(duì)額外低量程MFM的需求
③嵌入式配置和診斷軟件，允許用戶無(wú)需從工具中移除設(shè)備即可檢查MFM功能
④美國(guó)MKS流量計(jì)P系列使用標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器；不需要特殊軟件
5、美國(guó)MKS流量計(jì)P系列產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
美國(guó)MKS流量計(jì)P系列通過(guò)其多氣體/多范圍功能減少M(fèi)FM庫(kù)存，多氣體/多范圍功能以及嚴(yán)格的精度性能規(guī)格，使用戶能夠最大限度地減少高流量MFM零件號(hào)的庫(kù)存。多氣體/多范圍功能（以及其他自定義控制）可通過(guò)MFM嵌入式診斷接口訪問(wèn)，無(wú)需特殊軟件或硬件即可操作。標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)電纜和廣泛使用的支持JAVA的HTML瀏覽器就是所需的全部工具。典型高流速氣體的關(guān)鍵氣體參數(shù)已存儲(chǔ)在設(shè)備上。配置設(shè)備只需從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍即可。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備運(yùn)行狀況檢查、繪制流程并存儲(chǔ)操作數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。通過(guò)其明亮的自動(dòng)定向LED顯示屏，輕松查看流速、氣體類型和滿量程流量。
6、美國(guó)MKS流量計(jì)P系列產(chǎn)品配置選項(xiàng)
①美國(guó)MKS流量計(jì)P系列P4B質(zhì)量流量計(jì)P4B
②氣體（按照半標(biāo)準(zhǔn)E52-0703）
③美國(guó)MKS流量計(jì)P系列氮?dú)?N 2)SEK 13.00
④美國(guó)MKS流量計(jì)P系列氨(NH 3)SEK 29.00
⑤六氟化硫(SF 6)SEK 110.00
⑥美國(guó)MKS流量計(jì)P系列流量范圍滿量程
⑦5標(biāo)準(zhǔn)立方厘米SEK 500.00
⑧10標(biāo)準(zhǔn)立方厘米SEK 101.00
⑨20標(biāo)準(zhǔn)立方厘米SEK 201.00
⑩50標(biāo)準(zhǔn)立方厘米SEK 501.00
?100標(biāo)準(zhǔn)立方厘米SEK 102.00
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