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SY2R-5LOZ-C6-F2 SMC高壓用2通電磁閥
故必須選用能在真空壓力條件下工作的換向閥
真空換向閥要求不泄露，且不用油霧潤(rùn)滑
MK2B32-10L MKA32-10RM-A73
供給閥印設(shè)置于正壓管路中
通徑大時(shí)可使用外部導(dǎo)式電磁閥
MKA50-50R-WH52J080 MKB20-10L-F9BAL
MK2B32-10L-A93 MKA32-10RM-F7BV
設(shè)定壓力范圍廣泛：-0.1～0.45MPa
開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu):硅片擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力開(kāi)關(guān)
1) ZSE1-01-17有兩組輸出
SY2R-5LOZ-C6-F2 SMC高壓用2通電磁閥
作為真空用換向閥使用。可選用般換向閥
A73Z MKA50-50RN-F7PVL
MKB20-10L-A73L MKB50-20RM-P5DWSC
另有PNP型。注3) 與真空
發(fā)生器組合時(shí)，瞬時(shí)允許壓力可0.5MPa。
不給油潤(rùn)滑的軟質(zhì)密封滑閥
故使用座閥式和膜片式閥芯結(jié)構(gòu)比較理想
2線式：NPN,PNP共用
安裝方便：安裝在快換接頭上
真空破壞閥，真空切換閥和真空選擇閥
設(shè)置于真空回路或存在有真空狀態(tài)的回路中、
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